- 장비 구성

   : Novel Field Emission Electron Optics for high current and high resolution imaging and analysis High resolution (field emission) Ion Optics 

     with fast high-volume milling capabilities Source lifetime : >1000 hours Voltage : up to 30kV Gas chemistry tech

- 상세 내용

   : 수십 keV로 가속된 갈륨이온을 시료에 집속시킴으로써 나노 크기의 구조체, TEM 시편 등을 제작

※ 이용방법: 타기관 위탁서비스 운영